鉬靶材
洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有限公司生產的鉬靶包含鉬平面靶(鉬圓靶和鉬長條靶)及鉬旋轉靶材。
鉬平面靶材選用我公司優良板材加工而成,具有高密度,內部無裂紋和砂眼,表面光亮,色澤均勻,尺寸準確的特點。
小型鉬旋壓靶材選用優良棒材加工,具有外形尺寸準確,表面光滑,純度高等特點。
常規尺寸鉬旋轉靶材采用熱等靜壓工藝制作, 具有高密度(密度可達10.15 g/cm3 ),細晶粒,成型好的特點。
常規密度:10g/cm3~10.15 g/cm3;
特殊工藝密度:大于10.15g/cm3。
鉬旋轉靶參數 |
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Element元素 |
Mo |
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Purity純度 |
≥99.95%(3N5) |
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Typical sample dimension 樣品尺寸 |
φ153mm×φ123mm×1114mm |
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Density密度 |
10.15g/cm3 |
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Hardness 硬度 |
HV5:246-253 |
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Grain Size 晶粒度 |
35μm |
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Appearance表面粗糙度 |
Ra≤0.4μm |
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Impurity Content雜志含量 |
Pb |
≤5ppm |
C |
≤20ppm |
Cd |
≤5ppm |
Sb |
≤10ppm |
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Si |
≤10ppm |
Ni |
≤30ppm |
|
Cu |
≤10ppm |
P |
≤5ppm |
|
Mg |
≤10ppm |
N |
≤50ppm |
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Bi |
≤5ppm |
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Al |
≤15ppm |
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Ca |
≤15ppm |
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N |
≤ppm |
注:所有規格均可通過機加工滿足客戶高精度的要求。
我公司的鉬靶材主要應用于:
▲ 薄膜太陽能工業,觸控工業,半導體行業,光學鍍膜行業
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