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鉬鈮靶材
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產品編號
所屬分類
鉬鈮
數量
-
+
產品描述
洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有限公司生產的鉬鈮靶材包含鉬鈮平面靶和鉬鈮旋轉靶。
愛科麥制造靶材的特點
1.產品密度高，產品致密性好，晶粒均勻。
2.機械加工性能較好。
3.靶材相對密度大于99%，合金達到97%以上；晶粒度可達50um以下；薄膜熱阻小于5%；與背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均勻性大于95%。
常規密度：9.3g/cm³~9.5 g/cm³；
特殊工藝密度：9.7g/cm³~9.9 g/cm³。
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鉬鈮靶材參數 |
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Element元素 |
MoNb |
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Composition ratio |
Mo-10.0at%Nb |
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(Nb=10.0±1at%) |
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Purity純度 |
>99.95%(3N5) |
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Typical sample dimension樣品尺寸 |
旋轉Φ151×Φ135×750mm；平面 210×112×10mm |
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Density密度 |
>9.3--9.5g/cm3（sintering），9.7--9.9g/cm3（HIP） |
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Hardness硬度 |
HV5:170-210 |
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Grain Size晶粒度 |
46μm |
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Appearance表面粗糙度 |
Ra≤0.4μm |
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Impurity Content雜質含量 |
Fe |
≤80ppm |
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Ni |
≤20ppm |
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Cu |
≤30ppm |
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Al |
≤30ppm |
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Si |
≤40ppm |
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O |
≤800ppm |
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C |
≤100ppm |
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注：所有規格均可通過機加工滿足客戶高精度的要求。
我公司的鉬鈮靶材主要應用于：
▲薄膜太陽能工業，觸控工業，玻璃工業，半導體行業，光學鍍膜行業。
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描述：
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