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鉬鉭靶材
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產品編號
所屬分類
鉬鉭
數量
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產品描述
洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有限公司生產的鉬鉭靶材主要為平面鉬鉭靶材。
愛科麥制造靶材的特點
1.采用熱等靜壓工藝，產品密度高，致密性好，晶粒均勻。
2.機械加工性能較好。
3.靶材相對密度大于99%，合金達到97%以上；晶粒度可達50um以下；薄膜熱阻小于5%；與背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均勻性大于95%。
| 鉬鉭靶材參數 | ||
| Element元素 | MoTa | |
| Composition ratio | Mo | |
| Ta 6.0at% | ||
| Purity | >99.95% | |
| Dimension | 1130mm×1200mmX10mm | |
| Density密度 | 10.2--10.5g/cm3 | |
| Hardness 硬度 | HV5:205--240 | |
| Grain Size晶粒度 | 48μm | |
| Appearance表面粗糙度 | Ra≤0.4μm | |
|
Impurity Content雜志含量 (powder粉) |
Fe | ≤80ppm |
| Ni | ≤20ppm | |
| Cu | ≤40ppm | |
| Al | ≤30ppm | |
| Si | ≤40ppm | |
| O | ≤800ppm | |
| C | ≤100ppm | |
注：所有規格均可通過機加工滿足客戶高精度的要求。
我公司的鉬鉭靶材主要應用于：
▲半導體行業。
上一個
無
下一個
無
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描述：
13838452776 18137990392
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