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鉬鈮合金
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產品編號
所屬分類
鉬鈮
數量
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產品描述
近年來，作為LCD(液晶顯示)、PDP(等離子顯示)等平面顯示器的電極和配線材料的鉬系合金靶越來越受到人們的關注。在TFT-LCD中，柵電極是一個關鍵部件，以前主要是用Cr／A1作為柵電極材料，隨著平面顯示器的大型化和高精度化，對材料的比阻抗要求越來越高，鉬的比阻抗和膜應力僅為鉻的1／2，同時，由于在蝕刻過程中會產生六價態Cr，對環境和健康有害，因此現在越來越多的公司改用Mo／A1作為柵電極材料，這樣對Mo靶的需求也就越來越大。在鉬靶的應用中，鉬合金的研究也越來越多，為進一步提高純鉬在耐腐蝕性(變色)和密著性(膜的剝離)，在鉬中添加V、Nb、W、Ta，則會使比電阻、應力及耐蝕性等各種性能更好。
由于使用了熱等靜壓技術，愛科麥生產的10%含量鉬鈮平面靶材和旋轉靶材密度可達9.7g/cm3 以上，其組織均勻性及純度等指標均受到了客戶好評。
愛科麥使用真空燒結和熱等靜壓方式制造的鉬鈮靶材，鈮含量可為5%或10%。產品具有良好的致密性和均勻度，已通過國外知名廠家認證。
尺寸規格
鉬鈮平面靶 10X112x210
鉬鈮旋轉靶 φ151xφ135X750
用途
▲于TFT-LCD行業鍍膜所用靶材
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描述：
13838452776 18137990392
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